发明名称 METHOD FOR INVESTIGATING OR STRUCTURING A SURFACE LAYER
摘要
申请公布号 EP1252497(A2) 申请公布日期 2002.10.30
申请号 EP19980962395 申请日期 1998.11.25
申请人 发明人
分类号 G01N33/543;G01B11/30;G01N13/10;G01N21/17;G01N21/45;G01N21/84;G01N21/94;G01N27/414;G01N27/416;H01L21/66;(IPC1-7):G01N13/00;G01N21/75 主分类号 G01N33/543
代理机构 代理人
主权项
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