波分复用器和生产方法

摘要

一种绝热光器件包括含多个支持在平面波导之上的不同长度的弯曲波导核的光相控阵,其中,相控阵的每一个波导核包括第一硅段(12A)、第二硅段(12B)和连接第一硅段和第二硅段来形成连续波导核的的聚合物段。该器件的制备通过:在平面基片(14)上形成多个邻近弯曲硅波导核;用硅上包层被覆硅波导核上表面;在光相控阵(24)的部分至少蚀刻一个凹槽,该凹槽得穿过上包层和硅波导核;形成多个连接第一硅波导核和对应的第二硅波导核段(12C)从而形成连续波导核的波导核段;形成被覆聚合物波导核段的上包层来限定复合光相控阵(24)。

主权项

1.一种温度补偿光纤波导电路器件，其特征在于，包括：基片；拥有多个支持于所述基片之上的不同长度的弯曲波导核的光纤相控阵，其中多对所述基片的邻近弯曲波导核拥有一定的光路长度差，选择这个光路长度差，使其等于信道波长，其中每一对所述弯曲波导核包括第一硅段、第二硅段和将所述第一硅段和第二硅段耦合在一起形成连续波导核的中央聚合物段，选择所述第一和第二硅段中多对波导核间的光程差同聚合物段中邻近波导核间的光程差之比，使波导核的总光程差中由温度引起的变化最小。