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发明名称 Semiconductor device and method of manufacturing the same
摘要
申请公布号 EP0681319(B1) 申请公布日期 2002.10.30
申请号 EP19950105517 申请日期 1995.04.12
申请人 KABUSHIKI KAISHA TOSHIBA 发明人 KIMURA, KOJI;NAKASHIMA, YUICHI;KAWAMOTO, HIROSHI
分类号 H01L21/768;H01L21/8249;(IPC1-7):H01L21/310;H01L21/82;H01L23/00;H01L23/31 主分类号 H01L21/768
代理机构 代理人
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