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发明名称
IMPEDANCE ADAPTED MICROWAVE ENERGY COUPLING DEVICE
摘要
申请公布号
EP1252647(A1)
申请公布日期
2002.10.30
申请号
EP20010902303
申请日期
2001.01.11
申请人
TETRA LAVAL HOLDINGS & FINANCE S.A.
发明人
MOORE, RODNEY;KAESS, HANNO;ESSERS, WOLF
分类号
H05H1/46;C23C16/511;H01J37/32;(IPC1-7):H01J37/32
主分类号
H05H1/46
代理机构
代理人
主权项
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