发明名称
摘要
申请公布号 JP3337813(B2) 申请公布日期 2002.10.28
申请号 JP19940062969 申请日期 1994.03.31
申请人 发明人
分类号 C23C14/40;C23C16/50;H01L21/205;H01L21/31;(IPC1-7):H01L21/205 主分类号 C23C14/40
代理机构 代理人
主权项
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