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发明名称
摘要
申请公布号 JP3338134(B2) 申请公布日期 2002.10.28
申请号 JP19930191163 申请日期 1993.08.02
申请人 发明人
分类号 H01L21/304;H01L21/00;H01L21/306;H01L21/308;(IPC1-7):H01L21/308 主分类号 H01L21/304
代理机构 代理人
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