| 发明名称 |
Systems and methods for epitaxially depositing films |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
AU2002303333(A1) |
申请公布日期 |
2002.10.28 |
| 申请号 |
AU20020303333 |
申请日期 |
2002.04.12 |
| 申请人 |
MATTSON TECHNOLOGY, INC. |
发明人 |
ROBERT D. MAILHO;DAVID E. SALLOWS;KRISTAIN E. JOHNSGARD;MARK W. JOHNSGARD;DANIEL L. MESSINEO |
| 分类号 |
C23C16/44;C23C16/455;C23C16/458;C23C16/46;C30B25/08;C30B25/14;H01L21/00;H01L21/205;H01L21/687;(IPC1-7):C23C16/00;C23F1/00 |
主分类号 |
C23C16/44 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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