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发明名称
UNIFORM RECESS DEPTH OF RECESSED RESIST LAYERS IN TRENCH STRUCTURES
摘要
申请公布号
KR20020081247(A)
申请公布日期
2002.10.26
申请号
KR1020027008897
申请日期
2002.07.10
申请人
发明人
分类号
H01L21/306
主分类号
H01L21/306
代理机构
代理人
主权项
地址
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