| 摘要 |
<p>본 발명은 슬라이스 레벨을 용이하게 설정할 수 있는 전자 빔 테스터 및 전자 빔 테스터의 설정 방법을 제공하는 것을 목적으로 한다. 이를 위하여, 본 발명의 전자 빔 테스터는 전기 부품에 신호를 부여하는 구동 회로와, 구동 회로에 의하여 신호가 부여된 전기 부품에 전자 빔을 조사함으로써 전기 부품으로부터 2차 전자를 방사시키는 전자총과, 2차 전자를 여기하는 원하는 분석 전압을 출력하는 드라이버와, 분석 전압에 의하여 여기된 2차 전자를 검출하는 검출기와, 드라이버가 제1 분석 전압을 출력하고 있을 때 검출기가 검출하는 2차 전자의 제1 평균치와, 드라이버가 제2 분석 전압을 출력하고 있을 때 검출기가 검출하는 2차 전자의 제2 평균치를 산출하는 평균치 산출 수단과, 제1 평균치 및 제2 평균치에 따라 전기 부품의 시험에 이용하는 슬라이스 레벨을 산출하는 슬라이스 레벨 산출 장치를 구비한다. 제1 분석 전압 및 제2 분석 전압은 전기 부품을 시험할 때의 최고 분석 전압 및 최저 분석 전압일 수도 있다.</p> |
