| 摘要 |
Die Erfindung betrifft einen Sensor zum Messen einer Gaskonzentration oder Ionenkonzentration, der aufweist: DOLLAR A ein Substrat (11), DOLLAR A eine auf dem Substrat ausgebildete Drain (3), DOLLAR A eine auf dem Substrat ausgebildete Source (2), DOLLAR A einen Kanalbereich (4) des Substrats, der zwischen Drain (3) und Source (2) angeordnet ist, DOLLAR A einen leitfähigen Guardring (1), der außerhalb des Kanalbereichs angeordnet ist, DOLLAR A eine sensitive Gateschicht (8), deren Potential von einer umgebenden Gaskonzentration oder Ionenkonzentration abhängig ist, wobei zwischen der Gateschicht und dem Kanalbereich (4) ein Luftspalt (10) vorgesehen ist. DOLLAR A Um einen Sensor zu schaffen, der kostengünstig und mit kleinem Bauraum herstellbar ist und dennoch eine genaue Messung einer zeitlichen Konzentrationsänderung gewährleistet, ist vorgesehen, dass zwischen dem Guardring (1) und dem Kanalbereich (4) eine Oberflächenprofilierung (7, 12) ausgebildet ist. |
