| 发明名称 |
Verfahren zum Bestimmen von Parameterverteilungen von Substrateigenschaften |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
DE19913922(C2) |
申请公布日期 |
2002.10.24 |
| 申请号 |
DE19991013922 |
申请日期 |
1999.03.26 |
| 申请人 |
STEAG RTP SYSTEMS GMBH |
发明人 |
BOIN, MANUELA;LERCH, WILFRIED |
| 分类号 |
G01N27/00;G01N33/00;G01N37/00;H01L21/66;(IPC1-7):H01L21/66 |
主分类号 |
G01N27/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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