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<p>Es wird eine einfache und kostengünstige Möglichkeit zur Erzeugung optisch transparenter Bereiche (5, 6) in einem Siliziumsubstrat (1) vorgeschlagen, mit dem sich sowohl optisch transparente Bereiche beliebiger Dicke als auch optisch transparente Bereiche über einem Hohlraum im Siliziumsubstrat realisieren lassen. Dazu wird zunächst mindestens ein definierter Bereich (5, 6) des Siliziumsubstrats (1) porös geätzt. Danach wird der definierte poröse Bereich (5, 6) des Siliziumsubstrats (1) oxidiert.</p> |
