| 摘要 |
<p>Die Erfindung bezieht sich auf das Gebiet der Werkstofftechnik und betrifft ein Verfahren zum Festlegen von Referenzmagnetisierungen, welches beispielsweise in Bauelementen in der Magnetsensorik zur Anwendung kommen könnte.Die Aufgabe der vorliegenden Erfindung bestehe in der Angabe eines Verfahrens zum Festlegen von Referenzmagnetisierungen in Schichtsystemen, wobei die Referenzrichtungen hinsichtlich Anzahl und Raumrichtung beliebig gewählt werden können.Die Aufgabe wird gelöst durch ein Verfahren zur Festlegung von Referenzmagnetisierungen in Schichtsystemen, bei dem mindestens ein Schichtsystem hergestellt wird, indem eine hart- und/oder weichmagnetische Schicht geometrisch strukturiert wird und vor oder während oder nach einer ein- oder mehrstufigen Wärmebehandlung die hart- und/oder weichmagnetische Schicht auf mindestens eine antiferromagnetische Schicht aufgebracht werden, wobei die Temperaturerhöhung mindestens bis über die Kopplungstemperatur durchgeführt wird und anschließend das Schichtsystem abgekühlt wird.</p> |
