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发明名称 Verfahren zur Herstellung von Dünnschichtstrukturen
摘要
申请公布号 DE19817530(C2) 申请公布日期 2002.10.24
申请号 DE19981017530 申请日期 1998.04.09
申请人 BUNDESREPUBLIK DEUTSCHLAND, VERTR.D.D. BUNDESMINISTERIUM FUER WIRTSCHAFT UND TECHNOLOGIE 发明人 KOCH, HANS;SEMMLER, WOLFHARD
分类号 H05K3/10;B41J2/01;B41J3/407;H01L21/02;H01L21/768;H05K3/12;(IPC1-7):B05D5/00;B05D1/02;B41J2/005;H01L21/60 主分类号 H05K3/10
代理机构 代理人
主权项
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