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发明名称 Verfahren zur Herstellung von Isolationszonen für integrierte Schaltungen
摘要
申请公布号 DE69431389(D1) 申请公布日期 2002.10.24
申请号 DE1994631389 申请日期 1994.11.29
申请人 NCR INTERNATIONAL, INC.;HYUNDAI ELECTRONICS AMERICA, MILPITAS;SYMBIOS, INC. 发明人 MCCORMACK, STEPHEN R.;KELLEHER, PATRICK J.;CHIACCHIA, CHRISTINE H.
分类号 H01L21/76;H01L21/762;H01L21/763;(IPC1-7):H01L21/76 主分类号 H01L21/76
代理机构 代理人
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