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Zur mehrphotonenanregung einer Probe (24), wobei ein Laserstrahl (10) in mindestens zwei kohärente Teilstrahlen (11, 12) gleicher Intensitätsverteilung um die jeweilige Strahlachse aufgespalten wird und wobei die Teilstrahlen (11, 12) aus unterschiedlichen Richtungen kommend auf eine gemeinsame, quer zu den Strahlachsen verlaufenden Messebene ausgerichtet werden, so dass sie in dem Bereich der Messebene miteinander interferieren, werden die Teilstrahlen (11, 12) zueinander unter einen Kippwinkel (14) < 1 ausgerichtet und durch ein gemeinsames Linsensystem (21) auf die Messebene ausgerichtet werden, so dass eine durch die Interferenz der Teilstrahlen (11, 12) hervorgerufene Intensitätsverteilung in der Messebene Bereiche maximaler Intensität neben Bereichen minimaler Intensität aufweist.
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