发明名称 METHOD FOR AUTOMATIC ADJUSTMENT OF FOCUS AND LIGHTING AND FOR OBJECTIVATED SCANNING OF EDGE SITE IN OPTICAL PRECISION MEASURING TECHNIQUE
摘要 <p>Es wird ein Verfahren zur Optimierung der Zielgrößen für die optische Präzisionsmesstechnik vorgeschlagen, bei dem aus Bildinformationen eines zu vermessenden Werkstückes Hilfsparameter gewonnen werden und aus diesen Hilfsparametern Steuerinformationen für Einflussgrößen dieser Zielgrößen abgeleitet werden. Die Steuerinformationen werden hierbei wie folgt abgeleitet: Bestimmung der Verläufe der Hilfsparameter in Abhängigkeit von wenigstens einer Einflussgröße, wobei die Verläufe der Hilfsparameter so bestimmt werden, dass die Verläufe ein gleichartiges Extremum der funktionalen Abhängigkeit von der Einflussgröße besitzen; Bestimmung eines Gesamtverlaufes der Hilfsparameter in Abhängigkeit von der Einflussgröße durch gewichtete Summation der Verläufe der Hilfsparameter; Bestimmung eines Extremums des Gesamtverlaufes der Hilfsparameter; Ermittlung des zugehörigen Wertes der Einflussgröße am Ort des bestimmten Extremums als Steuerinformation für die Einflussgröße.</p>
申请公布号 WO2002084215(A1) 申请公布日期 2002.10.24
申请号 EP2002003921 申请日期 2002.04.09
申请人 发明人
分类号 主分类号
代理机构 代理人
主权项
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