| 发明名称 |
Verfahren und Vorrichtung zum Be- und Entladen einer evakuierbaren Behandlungskammer |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
DE59805566(D1) |
申请公布日期 |
2002.10.24 |
| 申请号 |
DE19985005566 |
申请日期 |
1998.02.24 |
| 申请人 |
LEYBOLD SYSTEMS GMBH |
发明人 |
HENRICH, JUERGEN;ICKES, GERD |
| 分类号 |
C23C14/56;(IPC1-7):C23C14/56 |
主分类号 |
C23C14/56 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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