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发明名称 STARRES FENSTER FÜR VAKUUMANWENDUNGEN
摘要
申请公布号 DE69711049(T2) 申请公布日期 2002.10.24
申请号 DE1997611049T 申请日期 1997.07.18
申请人 THE REGENTS OF THE UNIVERSITY OF CALIFORNIA, OAKLAND;AMERICAN INTERNATIONAL TECHNOLOGIES, INC. 发明人 MEYER, A.;CIARLO, R.;MYERS, R.;CHEN, HAO-LIN;WAKALOPULOS, GEORGE
分类号 E03D5/10;G01T7/00;H01J5/18;H01J33/04;H01L21/302;H01L27/14;(IPC1-7):B44C1/22 主分类号 E03D5/10
代理机构 代理人
主权项
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