发明名称 电子工业用氧化锆窑具及其制造方法
摘要 本发明为一种电子工业用氧化锆窑具及制造方法,是以电熔氧化锆原料为基,加入氧化钙、氧化钇为稳定剂,经电弧炉煅烧,然后经球磨、振磨、干压或注浆成型,干燥后在1550℃-1650℃烧成为本发明产品,以所加的稳定剂不同有两种组成不同产品,用氧化钙为稳定剂时,ZrO<SUB>2</SUB>90-95%,CaO3.5-4.5%;以氧化钇为稳定剂时,窑具的化学组成为ZrO<SUB>2</SUB> 88-93%,Y<SUB>2</SUB>O<SUB>3</SUB> 6-10%,此外,两种产品中各有TiO<SUB>2</SUB> 0.1-0.4%,Al<SUB>2</SUB>O<SUB>3</SUB>0.4-1.2%,SiO<SUB>2</SUB> 0.4-1.2%,Fe<SUB>2</SUB>O<SUB>3</SUB><O.2%。
申请公布号 CN1093105C 申请公布日期 2002.10.23
申请号 CN00134569.9 申请日期 2000.12.12
申请人 田维;陈捷;孙百忠 发明人 田维;陈捷;孙百忠
分类号 C04B35/48;C04B35/49;C04B35/622;H01G4/12;H01G13/00 主分类号 C04B35/48
代理机构 北京三高永信专利事务所 代理人 江崇玉
主权项 1、一种电子工业用氧化锆窑具,其特征在于所述产品以氧化钙为稳定剂时,窑具的化学组成为ZrO2 90-95%,TiO2 0.1-0.4%,Al2O3 0.4-1.2%,SiO20.4-1.2%,CaO3.5-4.5%,Fe2O3<0.2%。
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