相位光栅及其制造、光学编码器及其应用电动机和机械手

摘要

一种其凹部基本上为矩形形状的相位光栅，光栅深度比通过等式：|n-n₀|×(p-d′/e)/p×d′＝(λ/2)×(1+2m)，(其中，m＝0，±1，±2，…)计算得到的深度d′为更深一个规定范围内的值，所述深度d′取决于因相位光栅的衍射产生部分干涉的光的波长λ、相位光栅的间距长度p、相位光栅之基料的折射率n、相位光栅周围介质的折射率n₀、以及作为光栅深度与光栅凹部斜面宽度之比的形态比e。

主权项

1.一种相位光栅，它具有基本上为矩形形状的凹部，其特征在于，其光栅深度是比通过公式：|n-n0|×(p-d′/e)p×d′＝(λ/2)×(1+2m)，(其中，m＝0，±1，±2，…)计算得到的深度d′为更深一个规定范围内的值，所述规定范围为深度d′的百分之三至百分之五，所述深度d′取决于因相位光栅的衍射产生部分干涉的光的波长λ、相位光栅的间距长度p、相位光栅之基料的折射率n、相位光栅周围介质的折射率n0、以及作为光栅深度与光栅凹部斜面宽度之比的形态比e。