微型镜驱动器以及控制微型镜驱动器的方法

摘要

提供一种微型镜驱动器,它能同时控制微型镜的共振频率和振幅,使用较低的电压能使微型镜以很大的角度旋转。微型镜驱动器包括具有至少一个沟槽的微型镜,用来支撑微型镜使之能够旋转的弹性体,至少一个电极,它通过和微型镜相互作用产生静电力来使微型镜旋转。微型镜的振幅和频率可以通过改变至少一个电极电压的幅值或者波形来加以控制。相应地,就可能通过增加微型镜的有效面积,换句话说通过增加微型镜驱动器的面积,使用较低的电压来获得更大的驱动力和更大的旋旋转角度度,这样能向微型镜加静电力同时维持光束的反射路径。

主权项

1.一种微型镜驱动器，包含：具有至少一个沟槽的微型镜；用来支撑微型镜使其能够旋转的弹性体；至少一个通过和微型镜相互作用产生的静电力来使微型镜旋转的电极；其中通过改变至少一个电极电压的幅值或波形来控制微型镜的振幅和频率。