组合型线列硅光探测器

摘要

一种用于成像光谱仪的组合型线列硅光探测器,包括:线列芯片、底板和带窗口的框架。线列芯片置在二边带电极引线图的底板中间,线列芯片上置有带窗口的框架,框架固定在底板上。该实用新型利用了光谱检测时不同光敏元测试不同波长光的特点,把线列芯片分为几个子线列芯片,每一子线列芯片在工艺中对其探测波段的响应率进行增强,然后把这几个子线列芯片拼接成一个完整的线列芯片。这样,在光谱仪覆盖的整个光谱范围内都能得到高的测试灵敏度。探测器采用了PIN光电二极管的工艺,通过选择不同厚度的SiO₂增透膜,使相应探测波段的响应率得到增强。

主权项

1.一种组合型线列硅光探测器，包括：底板(1)、线列芯片(5)和带窗口(6)的框架(7)，底板为环氧板其正面二边布有根据线列芯片引线要求排列的电极引线图(2)，底板的背面置有穿过底板且与底板正面电极引线端点电学联接的插针(3)；底板正面中间置有与底板牢固结合的长条形的衬底电极块(4)，该电极块与电极引线图中的多根公共引线相接；长条形衬底电极块上置有线列芯片(5)，线列芯片光敏元的信号引出是通过硅铝丝与底板上相对应的电极引线联结；线列芯片上罩有带窗口(6)的框架(7)，框架通过环氧胶固定在底板上，其特征在于：A.所说的线列芯片(5)是由对不同光谱段增强的多个子线列芯片拼接而成，子线列芯片是由N型硅片通过掺杂形成P-N结的线列光敏元组成；B.所说的窗口(6)在1-20光敏元上方为全透玻璃，21-64光敏元上方为蒸镀有0.7μm前截止滤光薄膜。