| 发明名称 |
Verfahren zum Eindiffundieren von Dotierungsstoff aus der Gasphase |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
AT278905(B) |
申请公布日期 |
1970.02.25 |
| 申请号 |
AT19680007252 |
申请日期 |
1968.07.25 |
| 申请人 |
SIEMENS AKTIENGESELLSCHAFT |
发明人 |
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| 分类号 |
H01L21/00;H01L21/311;H01L21/314;(IPC1-7):H01L7/44 |
主分类号 |
H01L21/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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