发明名称 Method of producing isoplanar isolated active regions
摘要
申请公布号 EP0506473(B1) 申请公布日期 2002.10.23
申请号 EP19920302735 申请日期 1992.03.27
申请人 STMICROELECTRONICS, INC. 发明人 MILLER, ROBERT OTIS
分类号 H01L21/205;H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/762;(IPC1-7):H01L21/76;H01L21/316 主分类号 H01L21/205
代理机构 代理人
主权项
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