| 发明名称 | 利用阴影莫阿干涉纹技术测量表面平度的系统 | ||
| 摘要 | 一种用来通过分析阴影莫阿干涉纹图谱来测量电于互连元件比如印刷电路板(34)的表面特征的系统。印刷电路板(34)载在一个位于一光栅(32)下方的连续传送装置(82)上。对于每一块印刷电路板(34)，依据所述印刷电路板(34)已正确地定位于一光栅(32)之下并在一摄像机(100)的视野范围内的判定，生成一幅阴影莫阿干涉纹图谱。在一条或者多条分析路径上，所述阴影莫阿干涉纹图谱的干涉纹被量化，以判断所述印刷电路板(34)是否有不可忽略的翘曲，并在该情形下生成一个信号。对于每一块印刷电路板(34)，可以拍摄多幅图像并将它们用图像消减法进行数学合成，以生成增强的阴影莫阿干涉纹图谱，然后由之分析表面翘曲度。 | ||
| 申请公布号 | CN1093254C | 申请公布日期 | 2002.10.23 |
| 申请号 | CN97192108.3 | 申请日期 | 1997.01.02 |
| 申请人 | 阿克罗米特里克斯有限责任公司 | 发明人 | 德克·A·兹韦默;帕特里克·B·哈塞尔 |
| 分类号 | G01B11/30 | 主分类号 | G01B11/30 |
| 代理机构 | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人 | 王以平 |
| 主权项 | 1、一种量化被测量对象的表面平度的方法，包括下列步骤：将一个测量对象传送到一个光栅下；生成指示被测量对象表面平度的阴影莫阿干涉纹图谱的图像，包括下列步骤：透过所述光栅照射被测量对象，生成阴影莫阿干涉纹图谱的图像，和用一个探测器观测所述阴影莫阿干涉纹图谱的图像；确定一条穿越所述阴影莫阿干涉纹图谱的图像的至少一个部分的路径；并确定出一个与该路径所穿过的干涉纹数目有关的参数，其中，该参数指示被测量对象的表面平度。 | ||
| 地址 | 美国佐治亚 | ||