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发明名称 VARIABLE REACTANCE POSITION DETECTOR
摘要
申请公布号 EP1250568(A1) 申请公布日期 2002.10.23
申请号 EP20000953735 申请日期 2000.07.26
申请人 GSI LUMONICS, INC. 发明人 NUSSBAUM, MICHAEL, B.
分类号 G01D5/24;G01R29/26;(IPC1-7):G01D5/24;G01R27/26 主分类号 G01D5/24
代理机构 代理人
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