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发明名称 CARRYING DEVICE
摘要
申请公布号 JP2002307341(A) 申请公布日期 2002.10.23
申请号 JP20010181441 申请日期 2001.06.15
申请人 ULVAC JAPAN LTD 发明人 MINAMI NOBUFUMI
分类号 B25J9/06;B25J15/08;B65G49/07;H01L21/677;H01L21/68;(IPC1-7):B25J9/06 主分类号 B25J9/06
代理机构 代理人
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