衍射光栅及其制造方法

摘要

本发明涉及表面上形成了凹凸状周期栅格结构的衍射光栅，其凹凸状周期栅格是通过简单的工艺精密制得的。衍射光栅6具备玻璃基板1，并在其光出射面1b上通过PET涂料形成了聚二乙炔衍生物薄膜3。然后，通过紫外线穿透部分为微细周期栅格图纹的遮光膜4，对薄膜3的表面进行紫外线5的照射，使其发生选择性收缩，形成凹凸状周期栅格(3b、3c)。本发明能够简单地，且精度良好地制得具备微细凹凸状周期栅格图纹的衍射光栅。

主权项

1.一种衍射光栅，其特征在于，具备光学各向同性基板、形成于该光学各向同性基板的光入射面及光出射面中的至少一面的由聚二乙炔衍生物构成的薄膜、以及通过选择性地对该薄膜表面进行紫外线照射而在该薄膜表面形成的凹凸状周期栅格，前述聚二乙炔衍生物由以下的化学式(1)表示，式中的侧链R、R’由以下的化学式(2)～(9)表示，[化学式(2)]惯用名CmU Cn      (CH₂)_mOCONHC_nH_2n+1             …(2)[化学式(3)]惯用名PTS…(3)[化学式(4)]惯用名PTS-12…(4)[化学式(5)]惯用名DCHD…(5)[化学式(6)]惯用名HDU…(6)[化学式(7)]惯用名DFMDP…(7)[化学式(8)]惯用名TCDU…(8)[化学式(9)]惯用名nBCMU    (CH₂)_nOCONHCH₂COOC₄H₉              …(9)。