发明名称 Verfahren zur Festlegung eines Leitfähigkeitstyps in einem Halbleiter
摘要
申请公布号 CH487506(A) 申请公布日期 1970.03.15
申请号 CH19680000356 申请日期 1968.01.09
申请人 INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORPORATION 发明人 ADAM ABOAF,JOSEPH;OLIVER SEDGWICK,THOMAS
分类号 H01L29/78;C23C16/40;H01L21/316;(IPC1-7):H01L7/02;C23C11/08 主分类号 H01L29/78
代理机构 代理人
主权项
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