| 摘要 |
<p>최근 반도체 산업과 전자산업의 발달로 인해 에칭공정 및 수지세척공정에서 불산 또는 불소 화합물이 다량 사용되고 있다. 이러한 산업의 생산활동으로 인하여 발생하는 불소함유폐수 또는 불소함유폐가스를 인체에 유해하지 않는 기준치(1 ㎎/ℓ) 이하로 처리하는 방법이 큰 관심의 대상이 되고 있다. 이에 본 발명은 불소함유폐수와 폐가스 중의 불소제거율을 크게 높일 수 있는 하이드록시 아파타이트 (hydroxy apatite) 형태의 흡착세라믹을 이용한 불소함유폐수와 폐가스의 고도처리방법 및 그 처리장치를 제공하고자 하는 것으로서, 간단한 반응에 의하여 보다 높은 불소흡착력을 가진 하이드록시 아파타이트 형태의 흡착세라믹을 제조하여 불소함유폐수와 불소함유폐가스 중의 불소성분을 흡착제거하는 방법과 사용된 흡착세라믹을 간단하게 재생할 수 있고, 종래기술에 비해 안정적으로 높은 불소제거효율을 달성할 수 있으며, 고농도의 불소함유폐수와 폐가스 뿐만 아니라 저농도의 불소함유폐수와 폐가스에서도 높은 불소제거효율을 가지고, 또한 종래의 방법에 비해 적은 양의 약품을 사용할 수 있고 종래의 방법에 의해 발생되는 폐기물로 인한 2차 오염이 없는 하이드록시 아파타이트 형태의 흡착세라믹을 이용한 불소함유폐수와 폐가스의 고도처리방법 및 그 처리장치를 제공하고자 하는 것이다.</p> |
