| 发明名称 |
A METHOD OF FILLING TRENCHES |
| 摘要 |
본 발명은 트렌치 또는 구멍에 유전체 물질을 침착하고 압력적용 동안이나 이후에 침착된 물질을 어닐링 하는 단계를 포함하는 기판에 있는 트렌치나 구멍을 충전하는 방법에 관계한다. 이 공정은 단계적이며 어닐링 단계는 기판을 H플라즈마에 노출하는 단계를 포함하거나 어닐링 후 노출단계가 수행된다. |
| 申请公布号 |
KR20020079929(A) |
申请公布日期 |
2002.10.19 |
| 申请号 |
KR20027011463 |
申请日期 |
2002.09.02 |
| 申请人 |
트리콘 호울딩즈 리미티드 |
发明人 |
맥닐,존;비크만,너트;윌비,토니 |
| 分类号 |
H01L21/76;H01L21/316;H01L21/762 |
主分类号 |
H01L21/76 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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