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发明名称 VORRICHTUNG UND VERFAHREN ZUR ANPASSUNG EINER LAST AN EINE QUELLE
摘要
申请公布号 DE69711691(T2) 申请公布日期 2002.10.17
申请号 DE19976011691T 申请日期 1997.12.19
申请人 LAM RESEARCH CORP., FREMONT 发明人 WILLIAMS, NORMAN;JEWETT, F.
分类号 H01L21/302;H01J37/32;H01L21/205;H01L21/3065;H03H7/40;(IPC1-7):H03H7/40 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
主权项
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