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发明名称 Verfahren zur Herstellung einer epitaxierten Halbleiterscheibe
摘要
申请公布号 DE50100024(D1) 申请公布日期 2002.10.17
申请号 DE20015000024 申请日期 2001.05.10
申请人 WACKER SILTRONIC GESELLSCHAFT FUER HALBLEITERMATERIALIEN AG 发明人 SCHMOLKE, DR.;SCHAUER, REINHARD;OBERMEIER, DR.;GRAEF, DR.;STORCK, DR.;MESSMANN, KLAUS;SIEBERT, DR.
分类号 C30B25/02;H01L21/205;(IPC1-7):C30B25/02 主分类号 C30B25/02
代理机构 代理人
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