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发明名称
Verfahren zur Herstellung von Chlorsilanen mit niedrigem Dotierstoffgehalt
摘要
申请公布号
DE10048504(C2)
申请公布日期
2002.10.17
申请号
DE20001048504
申请日期
2000.09.29
申请人
MESSER GRIESHEIM GMBH
发明人
ESCHWEY, MANFRED
分类号
C01B33/107;(IPC1-7):C01B33/107
主分类号
C01B33/107
代理机构
代理人
主权项
地址
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