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Verfahren zum Erzeugen von extrem ultravioletter Strahlung und weicher Röntgenstrahlung mit einer auf dem linken Ast der Paschenkurve betriebenen Gasentladung, insbesondere für die EUV-Lithographie, DOLLAR A bei dem ein Entladungsraum (10) vorbestimmten Gasdrucks und zwei Elektroden (11, 12) verwendet werden, die jeweils eine auf derselben Symmetrieachse (13) gelegene Öffnung (14, 15) haben und die im Verlauf eines Spannungsanstiegs beim Erreichen einer vorbestimmten Zündspannung (U¶z¶) ein im Bereich ihrer Öffnungen (14, 15) gelegenes Plasma (17) ausbilden, das eine Quelle der zu erzeugenden Strahlung (17') ist, DOLLAR A bei dem eine Zündung des Plasmas (17) durch Einflußnahme auf den Gasdruck und/oder durch eine Triggerung erfolgt DOLLAR A und bei dem mit der Zündung des Plasmas (17) ein Energiespeicher mittels der Elektroden (11, 12) Speicherenergie in das Plasma (17) einspeist, dadurch gekennzeichnet, daß die Zündung des Plasmas (17) unter Anwendung eines vorbestimmten Zündverzugs erfolgt.
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