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发明名称
Vorrichtung zur Durchführung einer CVD-Beschichtung
摘要
申请公布号
DE4335573(C2)
申请公布日期
2002.10.17
申请号
DE19934335573
申请日期
1993.10.19
申请人
KOHL, EBERHARD
发明人
KOHL, EBERHARD
分类号
C23C16/46;C23C16/54;(IPC1-7):C23C14/56
主分类号
C23C16/46
代理机构
代理人
主权项
地址
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