| 发明名称 |
Verfahren und Vorrichtung zum automatischen Überprüfen von Positionsdaten j-förmiger elektrischer Kontaktanschlüsse |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
DE19652124(C2) |
申请公布日期 |
2002.10.17 |
| 申请号 |
DE19961052124 |
申请日期 |
1996.12.14 |
| 申请人 |
MICRONAS GMBH |
发明人 |
SEEGER, HARTMUT;SOMMER, BERND |
| 分类号 |
H01L21/66;G01N21/956;H01L23/50;(IPC1-7):H01L21/66;G06K9/78;H01L21/60 |
主分类号 |
H01L21/66 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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