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发明名称 Verfahren zur Herstellung von Halbleiter-Anordnungen
摘要
申请公布号 DE69528117(D1) 申请公布日期 2002.10.17
申请号 DE1995628117 申请日期 1995.06.16
申请人 TEXAS INSTRUMENTS INC., DALLAS 发明人 GOTOH, HIDETO;UTSUGI, MASARU
分类号 H01L21/302;H01L21/027;H01L21/3065;H01L21/308;H01L21/311;H01L21/321;H01L21/3213;H01L21/768 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
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