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经营范围
发明名称
Verfahren und Einrichtung zur Hochfrequenz-Plasmapolymerisation
摘要
申请公布号
DE59708152(D1)
申请公布日期
2002.10.17
申请号
DE19975008152
申请日期
1997.03.03
申请人
VTD VAKUUMTECHNIK DRESDEN GMBH
发明人
FALZ, MICHAEL;SOLGER, NORBERT;WILBERG, RUEDIGER;POLL, PROF. DR.;SCHREITER, DR.;BOEHME, SIEGFRIED
分类号
B05D1/00;B05D7/24;(IPC1-7):B05D1/00
主分类号
B05D1/00
代理机构
代理人
主权项
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