发明名称 Verfahren und Einrichtung zur Hochfrequenz-Plasmapolymerisation
摘要
申请公布号 DE59708152(D1) 申请公布日期 2002.10.17
申请号 DE19975008152 申请日期 1997.03.03
申请人 VTD VAKUUMTECHNIK DRESDEN GMBH 发明人 FALZ, MICHAEL;SOLGER, NORBERT;WILBERG, RUEDIGER;POLL, PROF. DR.;SCHREITER, DR.;BOEHME, SIEGFRIED
分类号 B05D1/00;B05D7/24;(IPC1-7):B05D1/00 主分类号 B05D1/00
代理机构 代理人
主权项
地址