| 发明名称 |
ENTSCHWEFELUNGSMETHODE UND -VORRICHTUNG DURCH BESTRAHLUNG MIT EINEM ELEKTRONENSTRAHL |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
DE69715385(D1) |
申请公布日期 |
2002.10.17 |
| 申请号 |
DE1997615385 |
申请日期 |
1997.02.28 |
| 申请人 |
EBARA CORP., TOKIO/TOKYO |
发明人 |
IZUTSU, MASAHIRO;IIZUKA, YOSHITAKA |
| 分类号 |
B01D53/56;B01D53/00;B01D53/32;B01D53/34;B01D53/38;B01D53/50;B01D53/74;B01D53/81;B01D53/92;B01D53/94;B01J19/08;F01N3/08;F01N3/10;(IPC1-7):B01D53/50 |
主分类号 |
B01D53/56 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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