发明名称 Integrierte Schaltungsanordnung mit mindestens zwei vertikalen MOS-Transistoren und Verfahren zu deren Herstellung
摘要
申请公布号 DE19720193(C2) 申请公布日期 2002.10.17
申请号 DE19971020193 申请日期 1997.05.14
申请人 INFINEON TECHNOLOGIES AG 发明人 GOEBEL, BERND;BERTAGNOLLI, EMMERICH
分类号 H01L21/8238;H01L27/092;(IPC1-7):H01L27/088;H01L21/823 主分类号 H01L21/8238
代理机构 代理人
主权项
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