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发明名称 METHOD AND APPARATUS FOR LOW ENERGY ION IMPLANTATION
摘要
申请公布号 EP1080482(B1) 申请公布日期 2002.10.16
申请号 EP19990922888 申请日期 1999.05.10
申请人 VARIAN SEMICONDUCTOR EQUIPMENT ASSOCIATES INC. 发明人 SULLIVAN, PHILIP;GAMMEL, GEORGE MICHAEL;BRENNAN, DAMIAN FRANCIS
分类号 H01J37/317;(IPC1-7):H01J37/317 主分类号 H01J37/317
代理机构 代理人
主权项
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