| 发明名称 |
A METHOD FOR DEPOSITING LAYERS ON A SUBSTRATE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP1248866(A1) |
申请公布日期 |
2002.10.16 |
| 申请号 |
EP20000975836 |
申请日期 |
2000.11.15 |
| 申请人 |
IONAS A/S |
发明人 |
ANDERSEN, LARS-ULRIK AAEN;EGGINTON, PAUL NICHOLAS |
| 分类号 |
C23C16/458;C23C16/509;(IPC1-7):C23C16/458;C23C16/50 |
主分类号 |
C23C16/458 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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