位置测定装置和采用该装置的工作设备

摘要

本发明的目的在于提供一种位置测定装置,该装置能抵抗装置的老化和温度波动以高精度确保稳定的精度,同时进行既存的体积测定精度有效的校正。为了实现该目的,根据本发明,在以坐标系统为基础相对于预定基准面(4)测定特定坐标空间内的目标位置以补偿误差的位置测定装置中,设有在移动装置(8)的移动过程中、用于测定相对于基准面(4)的关系是否发生变化的检测器(18),还设有在发生变化的情况下、用于以由检测器(18)所测得的关系变化量为基础校正由误差补偿工具(16)补偿位置坐标的补偿参数的至少任何其中之一和由误差补偿工具(16)所补偿的位置坐标的误差校正工具(20)。

主权项

1.一种位置测定装置，包括：用于相对于预定基准面检测坐标空间内的目标位置的目标位置检测器；根据预定关系相对于基准面移动、以使所述目标位置检测器移动、从而由所述目标位置检测器检测目标位置的移动装置；用于以诸如所述移动装置的位移量之类的数据计算出目标位置的位置坐标的位置坐标计算机；由所述目标位置检测器、所述移动装置和所述位置坐标计算机所构成的位置坐标测定机构；以由所述位置坐标测定机构所测得的位置坐标为基础将几何学误差分类、并且储存由相应的分类误差所决定的补偿参数的存储器；用于读出补偿参数以补偿误差的误差补偿工具；以及以坐标系统为基础被测得的特定坐标空间内的目标位置，其中，所述位置测定装置包括：在所述移动装置的移动过程中、用于测定相对于所述基准面的关系是否发生变化的检测器；以及在发生变化的情况下、用于以由所述检测器所测得的关系变化量为基础校正由所述误差补偿工具补偿位置坐标的补偿参数的至少任何其中之一和由所述误差补偿工具所补偿的位置坐标、以便消除因所述移动装置的移动与基准面之间的关系而对由位置坐标计算机所算得的位置坐标的影响的误差校正工具。