| 发明名称 |
Gas injector and etching apparatus comprising the same |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
GB2374454(A) |
申请公布日期 |
2002.10.16 |
| 申请号 |
GB20020000342 |
申请日期 |
2002.01.08 |
| 申请人 |
* SAMSUNG ELECTRONICS CO. LTD. |
发明人 |
DOO WON * LEE;TAE RYONG * KIM;NO HYUN * HUH;CHANG WON * CHOI;BYEUNG WOOK * CHOI |
| 分类号 |
H01L21/302;C23C16/44;C23C16/455;H01J37/32;H01L21/306;H01L21/3065;(IPC1-7):H01J37/32;B05B17/04;H01L21/00 |
主分类号 |
H01L21/302 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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