摘要 |
<p>Die Erfindung betrifft einen Sensor zum Messen einer Ionenkonzentration oder Gaskonzentration, mit einer gas- oder ionensensitiven Schicht (6), die zwei sensitive Teilbereich (20,21) aufweist, zwei leitfähigen Bereich (1b, 2b), die jeweils über Luftspalten. (9,10) mit einem der sensitiven Teilbereiche (20, 21) kapazitiv gekoppelt sind, wobei die Kapazitäten der Kopplungen unterschiedlich sind, und einer Vergleichsschaltung (1a, 2a, 3, 4, 5), die mindestens einen mit dem ersten leitfähigen Bereich verbundenen ersten Transistor (T1), einen mit dem zweiten leitfähigen Bereich verbundenen zweiten Transistor (T2) und mindestens einem Ausgang aufweist, an dem ein von dem Potential der sensitiven Schicht (6) abhängiges Signal abnehmbar ist. <IMAGE></p> |