| 发明名称 |
Preparation of 157nm transmitting barium fluoride crystals with permeable graphite |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
AU2002255986(A1) |
申请公布日期 |
2002.10.15 |
| 申请号 |
AU20020255986 |
申请日期 |
2002.03.28 |
| 申请人 |
CORNING INCORPORATED |
发明人 |
MICHELE M. L. MEYER-FREDHOLM;MICHAEL A. PELL |
| 分类号 |
C01F11/22;C30B11/00;C30B29/12;H01L21/027 |
主分类号 |
C01F11/22 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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