| 发明名称 |
HIGH FREQUENCY COUPLER, AND PLASMA PROCESSING APPARATUS AND METHOD |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
SG91821(A1) |
申请公布日期 |
2002.10.15 |
| 申请号 |
SG19990003086 |
申请日期 |
1999.06.22 |
| 申请人 |
MATSUSHITA ELECTRIC INDUSTRIAL CO., LTD. |
发明人 |
TOMOHIRO OKUMURA;SHOZO WATANABE |
| 分类号 |
H05H1/46;H01J37/32;H01L21/302;H01L21/3065;H05H1/24;(IPC1-7):H05H1/46 |
主分类号 |
H05H1/46 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
