| 发明名称 |
Method of plasma etching organic antireflective coating |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
AU2002248539(A1) |
申请公布日期 |
2002.10.15 |
| 申请号 |
AU20020248539 |
申请日期 |
2002.03.21 |
| 申请人 |
LAM RESEARCH CORPORATION |
发明人 |
CHRIS LEE;CONAN CHIANG;TUQIANG NI;FRANK Y. LIN;DAI N. LEE;WEINAN JIANG |
| 分类号 |
H01L21/28;H01L21/00;H01L21/3065;H01L21/311;H01L21/3213;H01L21/768;(IPC1-7):H01L21/027 |
主分类号 |
H01L21/28 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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